氮化硅的生产工艺及设备

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氮化硅的生产工艺及设备,摘要本实用新型带消音装置的氮化硅发热装置是一种利用电加热的氮化硅发热装置,它是由氮化硅发热体和消音装置组成,氮化硅发热体是由钨丝,钨丝外包裹的氮化硅,极板和连接钨丝与极板的导线组成,消音装置是由消音罩和水孔组成,在氮化硅发热体上设置一消音罩,将氮化硅发热体套在消音罩内,在消音罩上有水孔,本实用新型消音效果好,结构简单,是一种可在多种加热装置中使用的带消音装置的氮化硅发热装置。碳化硅与氮化镓间的缓冲结构及由此得到的半导体器件摘要本技术公然了一种过渡晶体结构,用于在一个单晶碳化硅层和一个单晶氮化镓层之间提供优良的晶格匹配和热匹配。这种过渡晶体结构包括一个缓冲区,它由以下结构构成:一个氮化镓和氮化铝层,一个与所述层邻接的第二氮化镓和氮化铝层。第二层中氮化铝的克分子百分比与层中氮化铝的克分子百分比明显不同。一个单晶氮化镓层制作于所述第二氮化镓层上。实施例中,缓冲区还包括。

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氮化硅的生产工艺及设备,由于科学技术的不断发展需要,科学家们一直在不停顿地寻找适用于苛刻条件下使用的理想的新材料。在层出不穷的大量新材料队伍中,氮化硅陶瓷可算是脱颖而出,十分引人注目,日益受到世界各国科学家们的重视。氮化硅是氮和硅的化合物。在自然界里,氮、硅都是极其普通的元素。氮是生命的基础,硅是无机世界的主角,这两种元素在我们生活的世界上无所不在,然而,至今人们还未发现自然界里存在这两种元素的化合物。氮化硅是在人工条件下合成的化合物。虽早在多年前直接合成了氮化硅,但当时仅仅作为一种稳定的“难熔”的氮化物留在人们的记忆中。二次大战后,科技的迅速发展,迫切需要耐高温、高硬度、高强度、抗腐蚀的材料。经过长期的努力,直至年氮化硅才被重视,七十年代中期才真正制得了高质量、低成本,有广泛重要用途的氮化硅陶瓷制品。开发过程为何如此艰难,这是因为氮化硅粉体和氮化硅陶瓷制品之间的性能和功能相差甚远,没有一个严格而精。

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